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GB/T 33555-2025《潔凈室及相關受控環境靜電控制技術要求》發布2025年11月1日實施
近日,國家(jia)標準委發(fa)布了(le)GB/T 33555-2025《潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)(guan)受控(kong)環境靜(jing)(jing)(jing)電(dian)控(kong)制技術(shu)(shu)要求》,該文(wen)件(jian)給(gei)出(chu)了(le)潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)(guan)受控(kong)環境中(zhong)(zhong)的靜(jing)(jing)(jing)電(dian)來源(yuan)和危(wei)害(hai),包括造成粒子(zi)、微生物(wu)等聚(ju)集等,文(wen)件(jian)規定了(le)潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)(guan)受控(kong)環境中(zhong)(zhong)適用的靜(jing)(jing)(jing)電(dian)控(kong)制技術(shu)(shu)要求。文(wen)件(jian)將于2025年11月1日實施!
引 言
靜(jing)電(dian)是潔(jie)凈室(shi)及(ji)相關(guan)受控(kong)環境中(zhong)常見(jian)污(wu)(wu)染(ran)源(yuan)之一(yi)。靜(jing)電(dian)吸引可造(zao)成(cheng)污(wu)(wu)染(ran)物集聚 ,污(wu)(wu)染(ran)潔(jie)凈環境 ,影(ying)響(xiang)產品質量和(he)人(ren)員健(jian)康;靜(jing)電(dian)放(fang)電(dian)會對(dui)潔(jie)凈環境中(zhong)靜(jing)電(dian)敏感設備(bei)、產品造(zao)成(cheng)危害 ,并且給(gei)電(dian)氣安(an)全(quan)、消(xiao)防安(an)全(quan)及(ji)人(ren)員健(jian)康造(zao)成(cheng)隱患;靜(jing)電(dian)控(kong)制措施不當不僅(jin)會影(ying)響(xiang)潔(jie)凈室(shi)的氣流組織、潔(jie)凈度 ,還會影(ying)響(xiang)電(dian)氣及(ji)消(xiao)防安(an)全(quan)。本(ben)文件針對(dui)潔(jie)凈室(shi)中(zhong)靜(jing)電(dian)來源(yuan)和(he)危害的特點 ,規(gui)定(ding)了符合潔(jie)凈室(shi)設計、運行特點的靜(jing)電(dian)控(kong)制技術要(yao)求 ,以控(kong)制潔(jie)凈室(shi)內的靜(jing)電(dian)影(ying)響(xiang)。
GB/T 33555-2025
潔凈室及(ji)相關受控環境靜電(dian)控制技術要求
1 范圍
本文件給出了(le)潔(jie)凈室(shi)及(ji)相關(guan)受(shou)(shou)控(kong)(kong)環境(jing)中(zhong)(zhong)的靜電(dian)來源(yuan)和(he)危害,規(gui)定了(le)潔(jie)凈室(shi)及(ji)相關(guan)受(shou)(shou)控(kong)(kong)環境(jing)中(zhong)(zhong)適用(yong)的靜電(dian)控(kong)(kong)制技術要求。
本文件適用(yong)于潔凈(jing)室(shi)及相關(guan)受控(kong)環境中的靜電(dian)控(kong)制。
2 規范性引用文件
下列文(wen)件(jian)中的(de)內容通(tong)過文(wen)中的(de)規范性(xing)引用而(er)構成(cheng)本(ben)文(wen)件(jian)必不可(ke)少的(de)條款。其中,注(zhu)日(ri)期的(de)引用文(wen)件(jian),僅該(gai)日(ri)期對應的(de)版(ban)(ban)本(ben)適用于(yu)本(ben)文(wen)件(jian);不注(zhu)日(ri)期的(de)引用文(wen)件(jian),其最新版(ban)(ban)本(ben)( 包括所(suo)有的(de)修(xiu)改單)適用于(yu)本(ben)文(wen)件(jian)。
GB 15 982 醫(yi)院消毒衛(wei)生標(biao)準
GB/T 16895.10 低壓(ya)電氣裝置 第4-44 部分:安全防護(hu)(hu) 電壓(ya)騷擾(rao)和(he)電磁騷擾(rao)防護(hu)(hu)
GB/T 25 915.3 潔凈室及相(xiang)關受控環境 第(di)3 部(bu)分:檢測方法
GB/T 25 915.4 潔凈室及相關(guan)受(shou)控環(huan)境 第4 部(bu)分(fen):設(she)計、建造、啟動(dong)
GB/T25915.13潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)受(shou)控(kong)(kong)環境(jing)第13部(bu)分(fen):達(da)到粒子和(he)化(hua)學潔凈度(du)(du)要求的(de)表面清潔GB/T25915.14潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)受(shou)控(kong)(kong)環境(jing)第14部(bu)分(fen):按(an)粒子濃度(du)(du)評估(gu)設備(bei)適用性(xing)GB/T25915.15潔凈室(shi)及(ji)相關(guan)受(shou)控(kong)(kong)環境(jing)第15 部(bu)分(fen):按(an)氣態(tai)化(hua)學物濃度(du)(du)評定設備(bei)及(ji)材料的(de)適用性(xing)
3 術語和定義
下列術語和定義適用(yong)于本文件。
3.1 靜電控制 electrostatic control
對(dui)于給定環(huan)境、產品或(huo)工藝,將靜電效應控制在允(yun)許限度之內的(de)活動。
3.2 靜電放電敏感(的) electrostatic discharge sensitive;ESDS
易(yi)受到靜電(dian)場或(huo)靜電(dian)放電(dian)影響而(er)產生故(gu)障或(huo)破(po)壞(的)。
3.3 靜電吸引 electrostatic attraction;ESA
兩(liang)個或多個帶相(xiang)反電(dian)荷(he)的(de)物體(ti)之間的(de)相(xiang)互作用 ,導(dao)致粒子在帶電(dian)體(ti)表面上(shang)的(de)沉積速率(lv)增加或帶電(dian)粒子的(de)運動。
3.4 靜電(dian)(dian)放電(dian)(dian) electrostatic discharge;ESD
具有不同靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)位(wei)的(de)物體之間 ,由于直接(jie)(jie)接(jie)(jie)觸或靜電(dian)(dian)場感應引(yin)起兩(liang)物體間的(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)荷的(de)快速轉移(yi)。
3.5 防靜電工作區 electrostatic discharge Protected area;EPA
為將靜電(dian)(dian)放電(dian)(dian)或靜電(dian)(dian)損害的風(feng)險(xian)控制到可接受的程(cheng)度而設立的操作靜電(dian)(dian)放電(dian)(dian)敏感( ESDS)產(chan)品的場所(suo)。
注1: 此術語僅在潔凈室及相關受控環境內(nei)操作靜電(dian)放電(dian)敏(min)感( ESDS)產(chan)品的場(chang)所使(shi)用(yong)。
注2: 靜電放電敏(min)感(gan)產品指(zhi)易被靜電場或靜電放電損壞的敏(min)感(gan)器件、集成電路(lu)或組件。
[來源:GB/T 37977.51—2023 ,3.7 ,有修改]
3.6 靜電感(gan)應 electrostatic induction;ESI
在靜電(dian)場影(ying)響下(xia)引起導(dao)體上電(dian)荷重新分布,并在其表面產生電(dian)荷的現象。
[來(lai)源:GB/T 15463—2018 ,2.27]
3.7 靜(jing)電(dian)起電(dian) electrostatic charge;ESC
由于物(wu)體的(de)接(jie)觸(chu)分離(li)、靜電(dian)(dian)感(gan)應、介質極化和帶電(dian)(dian)微(wei)粒的(de)附著等原因 ,使物(wu)體正負電(dian)(dian)荷失去平衡或電(dian)(dian)荷分布不均,在宏(hong)觀上呈現帶電(dian)(dian)的(de)過程。
[來源(yuan):GB/T 15463—2018 ,3.1]
3.8 孤立導體(ti) isolated conductor
防靜電工(gong)作區中對(dui)地絕緣的導體。
注: 對地電阻大于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)1.0×1011 Ω 的導體(ti)。
3.9 工作表面 work surface
任(ren)一類型可用于進(jin)行沒有靜電防(fang)護的靜電放電敏(min)感工(gong)作或處理的表面。
注(zhu)1: 包括人(ren)員操作表(biao)面和(he)設(she)備工作表(biao)面。
注2: 人(ren)員(yuan)操作(zuo)表面指人(ren)員(yuan)在潔凈(jing)室及相關受控(kong)環境(jing)中處置靜電(dian)敏感物(wu)的接觸(chu)面。
注3: 設備(bei)工作表面指(zhi)設備(bei)在潔凈室及(ji)相關受控(kong)環(huan)境中與靜電敏感物(wu)的接觸面。
3.10 潔凈室適用(yong)性(xing) cleanroom suitability
對(dui)目(mu)標(biao)潔(jie)凈(jing)室(區(qu)),維持關(guan)鍵受控參數或工(gong)況(kuang)的能力。
注: 本(ben)定義是指(zhi)設備(bei)和材料(liao)的使用。
[來(lai)源:GB/T 25 915.15—2022 ,3.7 ,有修改]
3.11 圍護結構 enveloPe structure
以框架為支撐的(de)內(nei)裝部分的(de)總稱。
注: 包括吊(diao)頂、墻體、地(di)面、門窗及其相關裝置、各種接口及密(mi)封等。
[來源:GB/T 36372—2018 ,3.3 ,有修改]
3.12 離子化靜電消除器 ionizing electrostatic eliminator
將空氣電(dian)離進(jin)而(er)產生(sheng)正、負離子,以中和帶(dai)電(dian)物(wu)體表面靜電(dian)荷的裝置。
注: 包(bao)括離子(zi)風(feng)機(ji)、離子(zi)風(feng)槍、離子(zi)棒、離子(zi)風(feng)嘴(zui)、空間(jian)離子(zi)棒、除(chu)靜電風(feng)機(ji)過濾單元、光離子(zi)型(xing)靜電消(xiao)除(chu)器(qi)等。
3.13 靜電耗(hao)散材料 electrostatic dissiPative material
點(dian)對點(dian)電阻在1.0×104 Ω~1.0×1011 Ω 的范圍的材料。
3.14 等電位聯結 eq uiPotential bonding
為了達到等(deng)電(dian)位(wei),多(duo)個可導電(dian)部分間的電(dian)連接。
4 靜電來源和危害
4.1來源
4.1.1潔凈室及相關受控環(huan)境中靜電(dian)起電(dian)的主要方式如下(xia):
摩擦起電(dian):不同物體或介質接觸后因出現(xian)相(xiang)對位(wei)移(yi)產生靜電(dian);
感應(ying)起(qi)電(dian):在靜電(dian)場(chang)作(zuo)用(yong)下(xia),導體(ti)內電(dian)荷重新分布(bu)產(chan)生帶電(dian)現象;
吸(xi)附起電:通過(guo)吸(xi)附帶電微(wei)粒(li)帶電;
傳導起電:通過與帶電物體接觸帶電。
4.1.2潔凈室及相關受控環境中常見(jian)的靜電來源與靜電控制要素見(jian)附(fu)錄 A。
4.1.3潔凈室及相關受控環境中影響靜(jing)電控制(zhi)的環境要素見(jian)表1。
表1影響靜電控制(zhi)的(de)環境要素
環境要素
影響
相對濕度
影響靜電(dian)起電(dian)( ESC)的電(dian)壓(ya),同等(deng)條件下相對濕(shi)度越(yue)低ESC電(dian)壓(ya)越(yue)高
粒子
懸浮粒子和表面(mian)粒子會造(zao)成摩擦起電和傳導起電,也是吸(xi)附帶(dai)電的載體
氣體流速
氣體流(liu)速(su)會影響摩(mo)擦起(qi)(qi)電的起(qi)(qi)電量和(he)帶電微粒的移動(dong)速(su)度
電磁輻射和電離輻射
電磁感(gan)應和(he)電離效應會(hui)造成感(gan)應起電
4.2危害
4.2.1潔凈室(shi)及相關受(shou)控環境中(zhong)的靜(jing)電(dian)(dian)(dian)危(wei)害(hai)主要由靜(jing)電(dian)(dian)(dian)吸引( ESA )、靜(jing)電(dian)(dian)(dian)放電(dian)(dian)(dian)( ESD)和靜(jing)電(dian)(dian)(dian)感(gan)應(ying)(ESI)造成(cheng)。
4.2.2ESA 造成(cheng)粒子、微生物等聚集,形(xing)成(cheng)帶電污(wu)(wu)染(ran)物。帶電污(wu)(wu)染(ran)物接觸到對表(biao)面潔凈度或靜電放(fang)電敏感( ESDS)產(chan)品(pin)、材料、設備和人(ren)員(yuan)時(shi)會造成(cheng)靜電危害:
造(zao)成 ESDS 產(chan)品短(duan)路、性能下降等(deng);
污染ESDS 材料;
造成 ESDS 設備的功(gong)能性部件污染、性能下降;
造成防(fang)靜電工作區( EPA)消防(fang)隱患和人員安全隱患。
4.2.3ESD及(ji)ESI的危害(hai)對象主要是ESDS產(chan)品(pin)、ESDS設備和人(ren)員。ESD及(ji)靜電感(gan)應造成(cheng)ESDS產(chan)品(pin)擊穿、失效(xiao)、性能(neng)(neng)下(xia)降,造成(cheng)ESDS設備控制或(huo)(huo)測(ce)量精度(du)下(xia)降、設備功能(neng)(neng)損(sun)失。ESD還會造成(cheng)人(ren)體靜電沖(chong)擊,且在(zai)涉及(ji)易(yi)燃(ran)易(yi)爆物品(pin)時,ESD產(chan)生的火花可能(neng)(neng)引起(qi)火災或(huo)(huo)爆炸。潔凈(jing)室內(nei)的ESD方(fang)式如下(xia)所述。
人體(ti)放電(dian)。人員活(huo)動或(huo)(huo)工作時,接觸ESDS 產品或(huo)(huo)設備產生(sheng)ESD。
帶電(dian)(dian)器件放電(dian)(dian)。帶電(dian)(dian)器件接近具有不同靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)位的物體時產生 ESD。
機器設備帶電(dian)(dian)放(fang)電(dian)(dian)。生產(chan)(chan)、轉運設備或工(gong)具接觸ESDS 產(chan)(chan)品時(shi)產(chan)(chan)生ESD。
線纜(lan)(lan)放(fang)電(dian)。存在(zai)電(dian)荷(he)積聚的線纜(lan)(lan)接(jie)近(jin)具有不同靜電(dian)電(dian)位的物(wu)體(ti)時產生 ESD。
其他。工藝(yi)活動、電(dian)磁或電(dian)離(li)輻射等產生 ESD。
4.2.4靜(jing)電(dian)控制采(cai)取(qu)不當措施(shi)時,可能影響(xiang)潔(jie)凈(jing)室環境性(xing)能、設備設施(shi)性(xing)能、產品質(zhi)量,并(bing)帶(dai)來(lai)人員安全(quan)和電(dian)氣安全(quan)隱患:
使(shi)用不(bu)符(fu)合潔凈室適(shi)用性要(yao)求(qiu)和工藝(yi)要(yao)求(qiu)的防靜電材(cai)料或(huo)設備、設施;
離(li)子化靜電消除器選型、安裝位(wei)置或屏(ping)蔽措施(shi)不當;
接地(di)及等電位聯結措施不當(dang)。
5 技術要求
5.1一般要求
5.1.1潔凈室及相關(guan)受(shou)控環境中(zhong)的(de)(de)電氣裝置安全防護(hu)應符合GB/T 16895.10 中(zhong)的(de)(de)相關(guan)要求。
5.1.2潔凈室及相(xiang)關受控環境(jing)中的接(jie)地系統要求如下(xia)所述(shu)。
潔凈(jing)室所在建(jian)筑防靜(jing)電接地(di)干線(xian)對地(di)電阻抗(kang)應(ying)小(xiao)于或(huo)等(deng)(deng)于10 Ω,潔凈(jing)室防靜(jing)電接地(di)系(xi)統各(ge)連接部位(接地(di)支線(xian)、接地(di)端子板、接地(di)網格、接地(di)裝置(zhi))與接地(di)干線(xian)之間的(de)電阻值應(ying)小(xiao)于或(huo)等(deng)(deng)于 4 Ω。
潔凈(jing)室EPA 的圍護(hu)結構(gou),通風凈(jing)化空調系統( 送風口、回(hui)風口、風管、風機過濾單元等末端(duan)裝置)、金屬橋架、穿過潔凈(jing)室且輸配易燃易爆(bao)介質的工(gong)藝管道、潔凈(jing)室內的工(gong)藝設備及其(qi)防爆(bao)柜均應接地 ,接地方(fang)式應采(cai)用(yong)焊(han)接或機械連接方(fang)式 ,其(qi)中管道法蘭應跨(kua)接。
嚴于( 含)ISO 5 級的潔(jie)凈(jing)室(shi)或使用(yong)活動地板的潔(jie)凈(jing)室(shi),防靜(jing)電接地系統各(ge)連(lian)接部位(wei)宜設置在下(xia)夾層或活動地板下(xia)方。
注: ISO 等級見(jian)GB/T 25 915.1—2021 中4.3。
潔凈室內(nei)由TN 交流配(pei)電(dian)(dian)系統(tong)供電(dian)(dian)時應采用(yong)TN-S 或TN-C-S 系統(tong)的(de)接(jie)地(di)方式,爆炸性環境配(pei)電(dian)(dian)系統(tong)應采用(yong)TN-S 系統(tong)接(jie)地(di)方式。防靜電(dian)(dian)等電(dian)(dian)位聯結導體(ti)選用(yong)方式見附錄B 的(de)表(biao)B.1。
使用活動地(di)板的(de)潔凈室防靜電接(jie)地(di)系(xi)統可利(li)用支架系(xi)統構成框架聯(lian)結(jie)網絡,接(jie)地(di)連(lian)接(jie)導線應選用有絕(jue)緣(yuan)保(bao)護的(de)軟銅線,截面積不(bu)應小于2.5 m m2 。
潔凈室中易(yi)(yi)燃易(yi)(yi)爆介質儲存容(rong)器(qi),容(rong)易(yi)(yi)產生靜電的設備、儀器(qi),以及對靜電敏感的儀器(qi)應采取單獨接地措施。
5.1.3潔凈室(shi)EPA 區域內宜避免(mian)存在孤立導體(ti)。無法避免(mian)時,孤立導體(ti)與ESDS 產品(pin)、設備或接地點間的(de)電位差應按(an)照工藝(yi)要求進行控制。
5.1.4ESDS 產(chan)品(pin)300 m m 范圍(wei)內存在絕緣(yuan)物(wu)體時,應按照工藝要求布置離子(zi)化靜電消除設備。同時應制定絕緣(yuan)物(wu)體管控清(qing)單,并根據(ju)工藝和風險評估確定其靜電電壓監(jian)控要求。
5.2人員
5.2.1從事處置或直(zhi)接(jie)接(jie)觸ESDS 物品的人(ren)員應(ying)接(jie)受專門培訓。
5.2.2人員與 ESDS 產品、材料和設備的接觸(chu)面(mian)應通過等電位(wei)聯結處于(yu)相同(tong)電位(wei)。
5.2.3人員(yuan)在潔凈室內(nei)活動的著裝及其他防靜(jing)電設施(shi)佩戴(dai)應(ying)滿(man)足各行業工(gong)藝或技(ji)術活動的相關要求(qiu)。
5.2.4人員在嚴于(含(han))ISO 5 級的(de)(de)潔凈室內應(ying)穿著(zhu)連體(ti)(ti)式(shi)(shi)防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)無(wu)塵(chen)服(fu)及防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)鞋,連體(ti)(ti)式(shi)(shi)防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)無(wu)塵(chen)服(fu)及防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)鞋的(de)(de)各部分(fen)應(ying)具有(you)電(dian)氣(qi)連續性(xing),在其他等級潔凈室可穿著(zhu)分(fen)體(ti)(ti)式(shi)(shi)防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)無(wu)塵(chen)服(fu)或(huo)根據工藝及使用(yong)要求選擇防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)無(wu)塵(chen)服(fu)。防(fang)(fang)(fang)靜電(dian)無(wu)塵(chen)服(fu)性(xing)能指(zhi)標見表B.2。
5.2.5人員(yuan)(yuan)在潔凈室內穿(chuan)著分體式防靜(jing)電(dian)無塵服活動時,應穿(chuan)防靜(jing)電(dian)鞋( 套)實現人員(yuan)(yuan)等電(dian)位聯結(jie),人員(yuan)(yuan)對地(di)電(dian)阻(zu)應在1.0×105 Ω~1.0×109 Ω 范圍,人體電(dian)壓絕對值應小于(yu)或(huo)等于(yu)100 V。
5.2.6人(ren)員在潔(jie)凈室內固定位置接(jie)觸ESDS 產品時(shi),宜通過防靜電(dian)(dian)手腕帶(dai)進行等電(dian)(dian)位聯(lian)結,人(ren)員穿戴手腕帶(dai)時(shi)對地電(dian)(dian)阻應(ying)在1×105 Ω~3.5×107 Ω 范圍。
5.2.7通過防(fang)靜(jing)電(dian)(dian)無塵服、防(fang)靜(jing)電(dian)(dian)鞋( 套)實(shi)現人(ren)(ren)員(yuan)等(deng)電(dian)(dian)位聯(lian)結(jie)時(shi),人(ren)(ren)員(yuan)進入潔(jie)凈室EPA 區(qu)域前,宜使用人(ren)(ren)體靜(jing)電(dian)(dian)綜合電(dian)(dian)壓(ya)測試儀檢驗人(ren)(ren)體對地電(dian)(dian)阻或通過靜(jing)電(dian)(dian)泄放裝置泄放人(ren)(ren)體靜(jing)電(dian)(dian)。
5.3工作表面
5.3.1潔凈室內與(yu) ESDS 產(chan)品接觸的人員(yuan)操(cao)作表面(mian)和(he)設備(bei)工作表面(mian)應控(kong)制 ESC、ESA、ESD 和(he)靜電(dian)感應。
5.3.2潔凈室(shi)內工作表面的靜電控制措施(shi)要(yao)求(qiu)如下:
工作(zuo)表面的點對點電阻值應小于1.0×109 Ω;
工作表(biao)面的(de)材(cai)料應根據GB/T 25 915.15 評估其潔凈室適用性;
工作表面應按GB/T 25 915.13 的(de)要(yao)求(qiu)進行清潔,有生物污(wu)染控制要(yao)求(qiu)的(de)工作表面清潔消毒應符合GB 15 982 的(de)要(yao)求(qiu);
工作表面應進行(xing)等(deng)電(dian)位聯結(jie),工作表面對地電(dian)阻應小(xiao)于1.0×109 Ω;
工作表面(mian)宜進行對地電(dian)(dian)阻和靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)壓(ya)監(jian)測;
人員(yuan)操(cao)作表面(mian)的截面(mian)風速宜小于或(huo)等于0.2 m /s;
設備(bei)工(gong)作表面無(wu)法通過設備(bei)外殼接(jie)地(di)(di)時,應單獨接(jie)地(di)(di)或配(pei)置離子(zi)化靜電消除器,接(jie)地(di)(di)時設備(bei)工(gong)作表面對地(di)(di)電阻值應小于1.0×109 Ω。
注: 進行高壓操作及(ji)絕緣和耐壓測試的工(gong)作表面除外。
5.4環境和區域
5.4.1潔(jie)凈室(shi)內(nei)應控(kong)制圍護結構、通風凈化空(kong)調(diao)系統、穿過潔(jie)凈室(shi)工(gong)藝管道(dao)的(de)ESC、ESA、ESD 和靜電感應,以(yi)及氣流(liu)中的(de)帶電污染物。
5.4.2潔凈(jing)室EPA 圍護(hu)結構的靜電控制要求如下所述。
潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)EPA 圍護結(jie)構材(cai)料,應根(gen)據(ju)GB/T 25 915.4 評估其可(ke)清(qing)潔(jie)性和GB/T 25 915.15 評估其潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)適用性。
潔(jie)凈室EPA 圍護結構應(ying)按GB/T 25 915.13 的要(yao)求(qiu)進行(xing)清潔(jie),有生物(wu)污染控制(zhi)要(yao)求(qiu)的潔(jie)凈室EPA 圍護結構的清潔(jie)消毒(du)應(ying)符(fu)合GB 15 982 的要(yao)求(qiu)。
潔(jie)凈(jing)(jing)室 EPA 內防(fang)靜電地面(mian)的點對點電阻應在 1.0 ×105 Ω~1.0 ×109 Ω 之間 ,吊(diao)頂(ding)(ding)、墻體、門(men)、窗面(mian)層(ceng)宜涂(tu)覆(fu)靜電耗(hao)散材料(liao);嚴(yan)于(yu)( 含(han))ISO 5 級的潔(jie)凈(jing)(jing)室 EPA 內吊(diao)頂(ding)(ding)、墻體宜選用涂(tu)覆(fu)靜電耗(hao)散材料(liao)面(mian)層(ceng)的金屬(shu)板(ban)材。
潔凈室圍(wei)護結(jie)(jie)構(gou)應(ying)進(jin)行等電位聯結(jie)(jie),并(bing)通過(guo)公共接地(di)點接地(di),圍(wei)護結(jie)(jie)構(gou)對(dui)地(di)電阻值應(ying)小于(yu)1.0×109 Ω。
潔凈室回(hui)風(feng)夾道(dao)及(ji)活動(dong)地板等雙面接觸循環(huan)氣流的構件(jian),宜(yi)根(gen)據工(gong)藝和設計要求選(xuan)用通體防靜電(dian)材料(liao)或雙面涂覆靜電(dian)耗散(san)材料(liao)。
潔凈室(shi)應根(gen)據(ju)工藝要求合(he)理選用防靜(jing)電地(di)面(mian),活動地(di)板開(kai)孔率(lv)除宜考(kao)(kao)慮氣流組織外,還宜考(kao)(kao)慮開(kai)孔率(lv)對點對點電阻(zu)的影響(xiang)。防靜(jing)電地(di)面(mian)類型見附錄C。
潔凈(jing)室活動地板(ban)下方的樓板(ban)或華夫板(ban)等構(gou)件表(biao)面,應涂覆(fu)靜(jing)電耗散材料(liao)。
潔凈室內使用 PVC 隔斷簾時,PVC 隔斷簾應選用靜(jing)電耗散(san)材料(liao)。
5.4.3潔凈室通風(feng)凈化空調(diao)系統的靜電控(kong)制(zhi)要(yao)求如下:
風機過(guo)(guo)濾單元、末端過(guo)(guo)濾系統(tong)宜(yi)具備(bei)容塵、容污報警功能;
過濾材料(liao)點對點電阻宜小于1.0×109 Ω;
潔凈室通風凈化空(kong)調系統的(de)送風口、回風口、風管、風機過濾單元或末(mo)端裝(zhuang)置外殼表面宜涂覆(fu)靜電(dian)耗散材料 ,對(dui)地或等電(dian)位聯結電(dian)阻應小于(yu) 1.0×109 Ω;
垂直單向流潔(jie)凈(jing)室(shi)通風(feng)凈(jing)化(hua)空(kong)(kong)調系統末(mo)端設(she)備(bei)宜根據工藝要求配備(bei)離子棒或空(kong)(kong)間(jian)離子棒。
5.4.4穿過潔凈(jing)室的工(gong)藝管道靜(jing)電控制要求如(ru)下:
工藝管道點對點電阻應小(xiao)于(yu)1.0×109 Ω;
輸配易燃易爆介質的工藝管道接(jie)地應(ying)滿足(zu)5.1.1 和5.1.2 的要求。
5.4.5潔凈(jing)室氣流(liu)中的游離電(dian)荷控(kong)制要求如下所述。
氣流組織、風(feng)口風(feng)速和工作面截面風(feng)速應符合潔凈室(shi)設計要求。
潔凈室(shi)EPA 區域內(nei)、有工藝要求的設備艙體內(nei),應根據控制(zhi)電(dian)壓(ya)、靜(jing)電(dian)消(xiao)(xiao)散時間(jian)、潔凈度(du)和工藝要求布置(zhi)離(li)子化靜(jing)電(dian)消(xiao)(xiao)除(chu)器。離(li)子化靜(jing)電(dian)消(xiao)(xiao)除(chu)器性能指標見(jian)表B.3 ,不同場景下離(li)子化靜(jing)電(dian)消(xiao)(xiao)除(chu)器配置(zhi)見(jian)表B.4。
單向(xiang)流(liu)潔凈(jing)室及(ji)潔凈(jing)工(gong)作(zuo)臺、設備(bei)艙體等工(gong)藝對氣流(liu)穩定性有要求(qiu)的潔凈(jing)微環境,不應(ying)使用離子風機、離子風槍等靜電消(xiao)除器。
注: 微環境(jing)指潔凈室EPA 區域內(nei)的局部環境(jing),以及有防(fang)靜電要求的潔凈工作臺、設備艙體等。
5.4.6潔凈室及相關受控環境中(zhong)的EPA 宜按照工藝和(he)功(gong)能要(yao)求(qiu)進行(xing)分(fen)級或分(fen)類(lei),見附錄D。
5.5設備及工具
5.5.1使(shi)用交流(liu)電的工藝設備和工具與ESDS 產品(pin)接(jie)觸(chu)表面的接(jie)地電阻應小于或等于10 Ω,其金屬(shu)機殼應通過(guo)電源保護地線接(jie)地。設備線纜距離ESDS 產品(pin)小于300 m m 時應包(bao)裹具備防靜(jing)電性(xing)能的保護外(wai)皮。
5.5.2不(bu)使用交流電(dian)的工藝設(she)備和工具(ju) ,宜通過(guo)人員、工作(zuo)臺(tai)面(mian)(mian)、地面(mian)(mian)或(huo)直接與(yu)保(bao)護(hu)地連(lian)接的方式實現接地。
5.5.3離子化(hua)靜電消(xiao)除(chu)器的(de)使用和(he)配置除(chu)應符合 5.4.5 外(wai) ,還應滿足其設備外(wai)殼材(cai)質(zhi)、驅動氣體潔凈(jing)度、風速、工作(zuo)噪聲、臭(chou)氧及化(hua)學污(wu)染物釋放、電磁干擾(rao)特(te)性和(he)電離輻射防(fang)(fang)護等相關(guan)要求(qiu)。在(zai)爆炸(zha)性環境中(zhong)選(xuan)用離子化(hua)靜電消(xiao)除(chu)器時 ,其防(fang)(fang)爆性能應滿足國家、行業現行標(biao)準規范要求(qiu)。
5.5.4潔凈室(shi)EPA 區(qu)域(yu)常見防靜電設備和工具(ju)性能(neng)指標(biao)見附錄E。
5.6ESDS 產(chan)品包(bao)裝、轉運和儲存(cun)
5.6.1ESDS 產品在(zai)包(bao)裝、轉運和儲存過程中,應控制包(bao)裝容器表面、接觸(chu)表面的ESC ,以及EPA 區域內轉運、儲存設備(bei)設施與地面的電(dian)位差。
5.6.2ESDS 產品的(de)包裝容(rong)器、轉(zhuan)運和儲存設備(bei)設施應根據GB/T 25 915.14 和GB/T 25 915.15 進行(xing)潔(jie)凈室(shi)適用性評估(gu),并應按照GB/T 25 915.13 的(de)要求進行(xing)清潔(jie)。
5.6.3潔凈室 ESDS 產品包裝靜電控制(zhi)符合以下要(yao)求(qiu):
與ESDS 產品直接接觸的包裝(zhuang)制品點對點電阻(zu)應在1.0×105 Ω~1.0×109 Ω 之間;
ESDS 產品(pin)轉運至非(fei)靜電防護(hu)區時,其包(bao)裝(zhuang)制(zhi)品(pin)應具(ju)備(bei)靜電屏蔽性能。
5.6.4ESDS 產品轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運(yun)設(she)(she)備(bei)點對點電阻應(ying)(ying)在 1.0 ×105 Ω~1.0 ×109 Ω 之(zhi)間 ,產品在潔(jie)凈室 EPA 區(qu)域(yu)內、不同等(deng)級或類型 EPA 區(qu)域(yu)之(zhi)間轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運(yun)時(shi)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運(yun)設(she)(she)備(bei)應(ying)(ying)與地面(mian)應(ying)(ying)處于等(deng)電位。轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運(yun)設(she)(she)備(bei)進入潔(jie)凈度等(deng)級要求更嚴的(de)區(qu)域(yu)時(shi) ,應(ying)(ying)進行表(biao)面(mian)清潔(jie)處理。
5.6.5ESDS 產品(pin)存儲容(rong)器、設施宜具(ju)備靜電屏(ping)蔽性能(neng)。
5.6.6使用自動(dong)化(hua)傳輸設備運(yun)輸ESDS 產品時(shi),宜(yi)監測ESDS 產品處置過程中(zhong)的(de)靜電(dian)電(dian)壓(ya)。
5.7監測和檢測
5.7.1潔凈室靜(jing)電監測(ce)和檢測(ce)設備、設施(shi)、儀表應符合(he)潔凈室適用性要(yao)求,且應進行周期性計量。
5.7.2潔凈室(shi)靜電監測和檢測宜(yi)按照表(biao)2 和GB/T 25 915.3 中相關規定執行。
表(biao) 2 潔凈(jing)室靜(jing)電監測和檢測
附 錄 A
(資料性)
靜電來源與控制要素
潔凈室及相關受(shou)控環境中常見的靜(jing)電來源(yuan)見表 A.1。
表 A.1 潔凈室及相關受(shou)控(kong)環境中(zhong)常見靜電(dian)來源
不同應用(yong)領域潔(jie)凈(jing)室靜(jing)電控制要素見表A.2。
表(biao) A.2 不同(tong)應用領域潔凈室靜(jing)電控制要素(su)
表 A.2 不同應用領(ling)域潔凈室靜電控制(zhi)要素 (續)
附 錄 B
(資料性)
技術措施
潔凈室(shi)EPA 內等電(dian)位聯結導體和最小截面積見(jian)表B.1。
表 B.1 潔(jie)凈室 EPA 區(qu)域防靜電(dian)等(deng)電(dian)位聯(lian)結導(dao)體線選(xuan)用
潔凈室EPA 內使用的防靜電無塵服性能指標見表B.2。
表 B.2 防(fang)靜電(dian)無塵(chen)服性能指標
潔凈室EPA 內使用的離子(zi)化靜電消除設備性(xing)能指標見表B.3。
表 B.3 離(li)子化靜電消(xiao)除器性能指標
潔凈(jing)室EPA 內不同場景下離子化(hua)靜電消除器配置見(jian)表B.4。
表 B.4 不同場景下離子化靜電消(xiao)除器配置
表(biao) B.4 不同場景下離子化靜(jing)電消除器配(pei)置 (續)
附 錄 C
(資料性)
防靜電地面類型
防(fang)靜電地面(mian)類(lei)型(xing)選用(yong)見表C.1 ,其他領域潔凈室防(fang)靜電地面(mian)類(lei)型(xing)參考(kao)選用(yong)。
表 C.1 防(fang)靜電地面(mian)類型選用
附 錄 D
(資料性)
EPA 分級或分類
D.1電子行業 EPA 根據(ju)靜電電壓控制(zhi)要求分為三級:
一(yi)級區域:控制靜電電壓絕對值不(bu)大于(yu)100 V;
二(er)級區域:控制靜電(dian)電(dian)壓絕對值不大于200 V;
三級區(qu)域:控(kong)制靜(jing)電電壓絕對值不大于1 000 V。
D.2航天電(dian)子產(chan)品EPA 區域根據使用功能,將EPA 區域按照靜(jing)電(dian)控制要求由(you)高到低(di)分(fen)為Ⅰ 類和Ⅱ類:
Ⅰ類:直接(jie)或間接(jie)接(jie)觸、處置 ESDS 元(yuan)器件、組件的(de)區(qu)域 ,如(ru)庫房(fang)、元(yuan)器件篩選、老(lao)化和測試、電(dian)裝、電(dian)路板調(diao)試、單(dan)(dan)機調(diao)試及與 ESDS 單(dan)(dan)機直接(jie)相連的(de)電(dian)纜所處區(qu)域等;
Ⅱ類:處置ESDS 單(dan)機(ji)設備的區域,如(ru)單(dan)機(ji)環境試驗、單(dan)機(ji)老化(hua)、單(dan)機(ji)庫房和(he)ESDS 產(chan)品裝配(pei)區域等。
D.3醫療(liao)衛生行(xing)業參考GB/T 16895.24 中的劃分(fen)示例作為(wei)指導(dao)原則,將醫療(liao)場所(suo)靜(jing)電控制(zhi)要求由(you)低到高(gao)分(fen)為(wei)0 類場所(suo)、1 類場所(suo)和2 類場所(suo)。
0 類場所,典型(xing)場所有診(zhen)療室和住院病房。建議采(cai)用(yong)靜電(dian)控制措施,將靜電(dian)吸附的污染、點燃事故、預(yu)期外的靜電(dian)電(dian)擊和ESD 引起的數據(ju)錯誤降低(di)到可接(jie)受的水平。
1 類場(chang)所 ,典型(xing)場(chang)所有內窺鏡(jing)檢查室(shi)(shi)(shi)、心(xin)電(dian)圖室(shi)(shi)(shi)( ECG )、腦電(dian)圖室(shi)(shi)(shi)( EEG )和(he)(he)(he)彩超室(shi)(shi)(shi)( EHG )、CT 室(shi)(shi)(shi)、嬰(ying)兒(er)保育室(shi)(shi)(shi)、泌尿(niao)外科和(he)(he)(he)核醫學室(shi)(shi)(shi)。建議采(cai)用靜(jing)電(dian)控制措(cuo)施 ,以將靜(jing)電(dian)吸(xi)附的(de)污染、點(dian)燃(ran)事故、預期(qi)外的(de)靜(jing)電(dian)電(dian)擊和(he)(he)(he) ESD 引起的(de)數據錯誤降低到可接受的(de)水平。
2 類(lei)場所(suo),典型場所(suo)有手術室(shi)套間、手術準備室(shi)、手術室(shi)、術后(hou)復蘇室(shi)、心(xin)導管室(shi)、冠狀動脈(mo)監護室(shi)和重(zhong)癥(zheng)監護病房(fang)。要(yao)求采用靜電控制措(cuo)施,此(ci)類(lei)場所(suo)的醫療設(she)備暫時失去功能會(hui)對患者的生(sheng)命構成重(zhong)大風險。
附 錄 E
(資料性)
防靜電(dian)設備(bei)和工具(ju)性能
潔凈(jing)室EPA 區域(yu)常見防靜電設備和工具性能(neng)指標見表E.1。
表 E.1 潔凈室(shi) EPA 區域(yu)常見(jian)防(fang)靜電設備和工具性能(neng)指(zhi)標
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