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日本Fiamo為藥液監測儀追加三項功能
Time：2011-10-29 8:40:11 Author：admin
日本藥液監測儀廠商Fiamo公司在可對高純度藥液中微量金屬雜質進行實時監測的系統“FIAMO”中，作為用戶選配項追加了3項功能，現已開始銷售。
現在的半導體工藝隨著微細化的發展，洗凈藥液的純度越來越高，同時由于新材料的導入，正在越來越多地使用新的藥液，因此洗凈工程的成本不斷增加。與此同時，還要求對洗凈廢液進行環保處理。“FIAMO”系統能夠以較低的成本、實時而連續地對藥液中的金屬雜質進行自動管理，雜質金屬一旦超過預告設置的管理標準，就能報警通知。因此不僅能夠最大限度地減少次品的產生，而且還能在環保方面發揮作用。“FIAMA”系統自2005年4月已經開始單獨銷售，目前該系統已被著名晶圓廠商和LSI廠商導入多臺。
此次追加的三項功能包括（1）稀釋裝置；（2）多路取樣器（Multi-sampler）；（3）多槽管理軟件。通過追加（1）稀釋裝置，能夠對過去無法處理的高純度藥液中的金屬雜質進行檢測。通過配置（2）多路取樣器，實現了多個相同藥液槽的監控，以及單一洗凈設備中不同藥液的同時監控。通過同時使用（3）多槽管理軟件，能夠更方便地對由多個洗凈槽所收集的各種數據進行管理。
本文由廣州佳譽醫療器械有限公司編輯
